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具體操作過程：
(1) 按待測樣品數(shù)量選擇樣品臺，（支持直徑d=5mm,15mm,1 inch,2 inch等規(guī)格，若要觀測截面可選擇帶角度的樣品臺）。
(2) 剪一小段導(dǎo)電膠，粘到樣品臺上。若樣品為粉末，則把粉末撒到導(dǎo)電膠上，用吸耳球或高壓氮氣吹掃掉導(dǎo)電膠上未粘緊的粉末；若是塊狀樣品，則把樣品牢牢粘到導(dǎo)電膠上，用手輕輕推，樣品不會左右晃動。（為觀測時方便定位，將樣品排列成行（或列），并在行下方（或列左側(cè)）標上數(shù)字編號。）
(3) 樣品粘貼完成后，用吸耳球或高壓氮氣吹掃掉樣品臺上的粉末、灰塵、水珠、唾沫等（會影響照片質(zhì)量，甚至使真空度下降而無法加高壓，推薦認真執(zhí)行。）
1.2 查看真空度 打開前面板蓋，點擊MODE按鈕直至IP1指示燈閃，在登記表記下MULT INDICATOR數(shù)碼顯示管的讀數(shù)，同理讀取IP2，IP3并記錄。確認IP1<2E-7，IP2<2E-6，IP3<5E-5。（通常情況都是IP1顯示0E-8，IP2顯示0E-8，IP3顯示0E-8或aE-7,1
