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產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是廣州迪川儀器儀表有限公司專門為各類小流量氣體的測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來(lái)制作，適用于各類清潔氣體。獨(dú)特的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
- 傳感器靈敏度高,有極小的始動(dòng)流量
- 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償,了傳
- 感器的高精度計(jì)量
- 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
- 傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性
- 全量程高度和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗
- 低壓損
- 響應(yīng)時(shí)間快
主要參數(shù)：
性能參數(shù) FS4001 單位
通 徑 1.0 1.8 mm
較大流量 30, 100, 200 500, 1000 SLPM
量程比 100:1
精 度 ±(1.5 0.2FS) %
重復(fù)性 0.25 %讀數(shù)
零點(diǎn)輸出飄移 ±30 mV
輸出飄移 ±0.12 %/oC
響應(yīng)時(shí)間 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 mses
工作電源 8~18Vdc,50mA
輸出方式 線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc
較大流量壓損 350 300 pa
較大工作壓力 0.5 MPa
工作溫度 -10 ~ 55 oC
存儲(chǔ)溫度 -20 ~ 65 oC
工作濕度 <95%RH（無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露）
機(jī)械接口 可拆式軟管接頭
校準(zhǔn)方式 空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa
重量 15 g
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