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阿爾卡特高真空技術(shù)有限公司生產(chǎn)的復(fù)合式分子泵。該產(chǎn)品具有抽速大，處理氣體流量能力強(qiáng)，穩(wěn)定性高等特點(diǎn)，且使用方便。功能和優(yōu)勢(shì)緊湊型設(shè)計(jì)，包括完全集成的控制器創(chuàng)新性自傳感軸承系統(tǒng)數(shù)字化5軸控制與現(xiàn)有渦輪泵相比振動(dòng)級(jí)別降低了50%可以配置為運(yùn)行腐蝕性制程自動(dòng)平衡系統(tǒng)(ABS)標(biāo)準(zhǔn)自動(dòng)減振(AVR)標(biāo)準(zhǔn)列于UL中，具有CE標(biāo)記，符合SEMI?S2真空泵的冷卻方式如下：1、通過真空泵及油分離器表面散熱。2、通過驅(qū)動(dòng)電機(jī)的風(fēng)扇輪散熱。3、通過工藝氣體。4、通過來自真空泵軸上的風(fēng)扇的氣流。
