旋片式真空泵機(jī)組編輯旋片真空機(jī)組是以泵為主泵，以旋片泵為前級泵串聯(lián)而成的。旋片真空機(jī)組選用的旋片泵作為前級泵，因此它克服了旋片泵使用時在一定壓力下抽氣速率低的缺點(diǎn)，而且同時保留了羅茨泵能迅速工作，有比較大抽氣速率等優(yōu)點(diǎn)。因?yàn)樵摍C(jī)組的結(jié)構(gòu)緊湊、抽速大、占地面積小，所以可以代替多臺機(jī)械真空泵,因此旋片泵機(jī)組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽、電真空半導(dǎo)體等行業(yè)中抽除密閉容器中含氧不高的、無爆性的、對金屬無腐蝕性的、與泵油不會起化學(xué)反應(yīng)的也不會含有顆粒塵埃的氣體。而立式無油往復(fù)泵機(jī)組以ZJ泵為主泵，以WLW型方式無油泵為前級泵串聯(lián)而成，由于WLW型真空泵采用無油自潤滑系統(tǒng)，這樣可以獲得潔凈真空，這樣在加裝尾氣收集裝置后，可以收集在高真空系統(tǒng)中無法凝固、無法壓縮收集的氣體，而又同時避免了水環(huán)機(jī)組所產(chǎn)生的大量廢水的排放而導(dǎo)致污染環(huán)境的問題。水環(huán)真空機(jī)組，大概可以分為下面幾種類型：水環(huán)泵：機(jī)組中水環(huán)泵的作用主要是造成羅茨泵所需的預(yù)備真空，對于一般情況而言，單級水環(huán)泵極限真空度不高，而目前我國生產(chǎn)的羅茨泵要求的預(yù)真空又比較高，因此實(shí)際上我們一般不用單級水環(huán)泵作為羅茨泵的前級泵，而是采用了極限壓力較低的雙級水環(huán)泵作為前級泵使用，這樣還可以降低機(jī)組的極限壓力。羅茨泵－水環(huán)泵并聯(lián)機(jī)械真空泵此機(jī)組主要用于需要處理大量水蒸汽，且極限真空度要求較高的抽真空系統(tǒng)，例如在真空干燥方面。要求處理大量水蒸汽的真空系統(tǒng)中，使用水環(huán)泵是較合適的，但由于其極限真空度不高，致使整個機(jī)組的極限真空度較低。雖然在要求真空度較高的抽真空系統(tǒng)中，需要極限真空較高的機(jī)械真空泵作為前級泵使用。但由于水環(huán)泵的耗電量大，效率很低，噪聲高，在需要長時間的真空干燥系統(tǒng)中，用水環(huán)泵作為羅茨泵前級泵很不經(jīng)濟(jì)。在上述情況下，可將氣鎮(zhèn)機(jī)械真空泵與水環(huán)泵并聯(lián)，作為羅茨泵的前級泵。真空干燥時，先用水環(huán)泵進(jìn)行預(yù)抽，直至水蒸汽大量減少時，再開動氣鎮(zhèn)機(jī)械真空泵，切斷水環(huán)泵。如需要較長時間才能完成干燥的場合，所需冷卻水和功率都較少.