為了提高羅茨旋片真空機(jī)組的抽氣性能，達(dá)到較高的極限真空和改善在低入口壓力時(shí)的抽速特性及對(duì)大型真空機(jī)組配用較小規(guī)格的前極泵，羅茨旋片真空機(jī)組也有由二級(jí)羅茨真空泵串聯(lián)的三級(jí)機(jī)組。根據(jù)被抽真空系統(tǒng)的大小及氣體狀態(tài)，羅茨旋片真空機(jī)組各泵之間的名義抽速之比一般在4∶1至10∶1之間，前者適用于較大真空系統(tǒng)及長時(shí)間在較低入口壓力或極限真空情況下工作。本系列羅茨旋片真空機(jī)組為了防止前級(jí)旋片真空泵停機(jī)返油，在前級(jí)管道上裝有電磁放氣閥，其動(dòng)作與前級(jí)旋片真空泵的電機(jī)聯(lián)動(dòng)。在干燥這一工序中所應(yīng)用的羅茨泵－水環(huán)泵機(jī)組的抽真空系統(tǒng)裝置。主要設(shè)備的功用簡(jiǎn)介如下：（1）真空閥關(guān)閉真空閥，機(jī)組停止運(yùn)行，可保持干燥系統(tǒng)一定的真空度。（2）自動(dòng)氣動(dòng)安全閥為防止機(jī)組突然停車時(shí)水環(huán)泵系統(tǒng)中的水向羅茨泵及真空干燥系統(tǒng)中倒灌。（3）壓差閥機(jī)組開始運(yùn)行時(shí)，先啟動(dòng)水環(huán)泵，在壓差閥兩端逐漸產(chǎn)生壓差，達(dá)到一定值時(shí)，閥自動(dòng)開啟，使系統(tǒng)中大部分氣體經(jīng)此閥流進(jìn)水環(huán)泵。當(dāng)大氣逐漸通過大氣泵流進(jìn)水環(huán)泵，壓差閥兩端壓力又逐漸減小，以致關(guān)閥，于是大氣泵隨即開始正常工作，壓差閥的作用是為了縮短大氣泵正常工作前的預(yù)抽時(shí)間。（4）水位計(jì)起止逆閥的作用，防止水環(huán)泵的水倒流。機(jī)組的操作順序：1）機(jī)組中無旁通閥時(shí)，應(yīng)先開動(dòng)水環(huán)泵，被抽系統(tǒng)中的氣體由羅茨泵（氣體推動(dòng)羅茨泵轉(zhuǎn)子自行轉(zhuǎn)動(dòng)，如同流量計(jì)一般）進(jìn)入水環(huán)泵后再排至大氣，待水環(huán)泵的吸入壓力（如串聯(lián)有大氣泵，則為大氣泵的吸入壓力）達(dá)到羅茨泵的起初規(guī)定值時(shí)（即允許排氣壓力），始啟動(dòng)羅茨泵，機(jī)組正式運(yùn)轉(zhuǎn)，開始工作。2）機(jī)組中有旁通閥時(shí)，如圖5所示，先啟動(dòng)水環(huán)泵，接著開動(dòng)羅茨泵，此時(shí)，羅茨泵進(jìn)排氣壓差較大，旁通閥自動(dòng)開啟，被抽容器中的氣體一部分經(jīng)過旁通閥進(jìn)入水環(huán)泵，另一部分在羅茨泵的作用下通過該泵也進(jìn)入水環(huán)泵，顯然抽氣速率增加，這樣很快達(dá)到羅茨泵的預(yù)真空，進(jìn)排氣壓差較小，閥門自動(dòng)關(guān)閉（或人工關(guān)閉），機(jī)組正式工作。這種方法能大大縮短預(yù)抽時(shí)間，但設(shè)備較復(fù)雜。