在干燥這一工序中所應(yīng)用的羅茨泵－水環(huán)泵機(jī)組的抽真空系統(tǒng)裝置。主要設(shè)備的功用簡介如下：（1）真空閥關(guān)閉真空閥，機(jī)組停止運(yùn)行，可保持干燥系統(tǒng)一定的真空度。（2）自動氣動安全閥為防止機(jī)組突然停車時(shí)水環(huán)泵系統(tǒng)中的水向羅茨泵及真空干燥系統(tǒng)中倒灌。（3）壓差閥機(jī)組開始運(yùn)行時(shí)，先啟動水環(huán)泵，在壓差閥兩端逐漸產(chǎn)生壓差，達(dá)到一定值時(shí)，閥自動開啟，使系統(tǒng)中大部分氣體經(jīng)此閥流進(jìn)水環(huán)泵。當(dāng)大氣逐漸通過大氣泵流進(jìn)水環(huán)泵，壓差閥兩端壓力又逐漸減小，以致關(guān)閥，于是大氣泵隨即開始正常工作，壓差閥的作用是為了縮短大氣泵正常工作前的預(yù)抽時(shí)間。（4）水位計(jì)起止逆閥的作用，防止水環(huán)泵的水倒流。為了提高羅茨旋片真空機(jī)組的抽氣性能，達(dá)到較高的極限真空和改善在低入口壓力時(shí)的抽速特性及對大型真空機(jī)組配用較小規(guī)格的前極泵，羅茨旋片真空機(jī)組也有由二級羅茨真空泵串聯(lián)的三級機(jī)組。根據(jù)被抽真空系統(tǒng)的大小及氣體狀態(tài)，羅茨旋片真空機(jī)組各泵之間的名義抽速之比一般在4∶1至10∶1之間，前者適用于較大真空系統(tǒng)及長時(shí)間在較低入口壓力或極限真空情況下工作。本系列羅茨旋片真空機(jī)組為了防止前級旋片真空泵停機(jī)返油，在前級管道上裝有電磁放氣閥，其動作與前級旋片真空泵的電機(jī)聯(lián)動。旋片式真空泵機(jī)組編輯旋片真空機(jī)組是以泵為主泵，以旋片泵為前級泵串聯(lián)而成的。旋片真空機(jī)組選用的旋片泵作為前級泵，因此它克服了旋片泵使用時(shí)在一定壓力下抽氣速率低的缺點(diǎn)，而且同時(shí)保留了羅茨泵能迅速工作，有比較大抽氣速率等優(yōu)點(diǎn)。因?yàn)樵摍C(jī)組的結(jié)構(gòu)緊湊、抽速大、占地面積小，所以可以代替多臺機(jī)械真空泵,因此旋片泵機(jī)組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽、電真空半導(dǎo)體等行業(yè)中抽除密閉容器中含氧不高的、無爆性的、對金屬無腐蝕性的、與泵油不會起化學(xué)反應(yīng)的也不會含有顆粒塵埃的氣體。而立式無油往復(fù)泵機(jī)組以ZJ泵為主泵，以WLW型方式無油泵為前級泵串聯(lián)而成，由于WLW型真空泵采用無油自潤滑系統(tǒng)，這樣可以獲得潔凈真空，這樣在加裝尾氣收集裝置后，可以收集在高真空系統(tǒng)中無法凝固、無法壓縮收集的氣體，而又同時(shí)避免了水環(huán)機(jī)組所產(chǎn)生的大量廢水的排放而導(dǎo)致污染環(huán)境的問題。