奧林巴斯STM7工具測(cè)量顯微鏡
通過(guò)整合光學(xué)顯微鏡的測(cè)量能力實(shí)現(xiàn)測(cè)量
多年的顯微鏡開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)成就了優(yōu)異的觀察性能
奧林巴斯STM7工具測(cè)量顯微鏡系列采用了當(dāng)前zui光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度,此外,像差也被完全消除,以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高精度測(cè)量。
嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)
奧林巴斯通過(guò)一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測(cè)量顯微鏡的度。并且在安裝系統(tǒng)時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。
測(cè)量顯微鏡跟蹤系統(tǒng)
STM7測(cè)量顯微鏡設(shè)計(jì)注重易用性
提供載物臺(tái)以適合眼下的樣本大小
[常見(jiàn)問(wèn)題]
? 短測(cè)量行程無(wú)法滿足較大樣品的測(cè)量需求。
? 目前為止,大型載物臺(tái)在X軸方向提供了足夠的測(cè)量行程,但是Y軸的行程仍然較小。在測(cè)量過(guò)程中需要通過(guò)旋轉(zhuǎn)樣品來(lái)補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程,這樣的做法費(fèi)事費(fèi)時(shí),效率不高。
? 由于可測(cè)量的范圍窄,無(wú)法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺(tái)上,以實(shí)現(xiàn)一次性同時(shí)測(cè)量。
[STM7解決方案]
共有四種獨(dú)特的正方形測(cè)量行程的載物臺(tái)可供選用,分別為:50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm
和300 mm×300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品,總有一款載物臺(tái)會(huì)適合您要測(cè)量的樣品。
? 300 mm長(zhǎng)的方形載物臺(tái)在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測(cè)量行程,這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實(shí)現(xiàn)大型樣品的全部測(cè)量,比如300 mm的晶圓和印刷電路板。更多詳細(xì)內(nèi)容請(qǐng)咨詢上海富萊光學(xué)、奧巴儀器。
使用相同的顯微鏡進(jìn)行低倍率和高倍率觀察
[常見(jiàn)問(wèn)題]
大部分傳統(tǒng)的測(cè)量顯微鏡只可以專(zhuān)用測(cè)量物鏡或?qū)S媒鹣辔镧R,無(wú)法同時(shí)滿足多種觀察要求。
[STM7解決方案]
奧林巴斯STM7工具測(cè)量顯微鏡可以通過(guò)安裝一個(gè)測(cè)量物鏡適配器使用測(cè)量物鏡,而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)后,便可使用金相物鏡。這意味著, STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)同時(shí)結(jié)合在一臺(tái)測(cè)量顯微鏡中。通過(guò)這種方式,無(wú)論是測(cè)量大型樣品還是精細(xì)樣品,或是表面高度差異大的樣品,STM7系列都可以對(duì)應(yīng)并協(xié)助用戶選擇zui佳的觀察方法。
手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型 手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型提供了卓越的成本效益——通過(guò)操作被廣泛使用的調(diào)焦旋鈕,可以快速的上下移動(dòng)Z軸。為測(cè)量具有各種高度樣品的用戶提供了方便。
電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型 使用電動(dòng)調(diào)焦裝置可以大幅提高操作性,并減少了進(jìn)行聚焦和高度測(cè)量時(shí)的操作疲勞。粗微調(diào)焦的同軸旋鈕設(shè)計(jì)使使用者可以以習(xí)慣的類(lèi)似手動(dòng)的方式進(jìn)行操作,同時(shí)電動(dòng)機(jī)型還可以配備自動(dòng)聚焦單元。
一個(gè)具有突破性設(shè)計(jì)的控制單元大幅提升了測(cè)量顯微鏡的操作性
用于手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型:
STM7-HS手動(dòng)操作裝置
用于電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型:
STM7-MCZ電動(dòng)操作裝置
控制箱
各個(gè)單元的電源和通信均被集成在一個(gè)單一的控制箱中。即使是添加一些可選功能比如聚焦導(dǎo)航功能也不需要增加額外的電源裝置,這樣的設(shè)計(jì)可以zui大程度地減少占用工作空間。
旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)
使用微調(diào)旋鈕可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的平行對(duì)齊。
測(cè)量支持系統(tǒng)
即使對(duì)復(fù)雜形狀也能實(shí)現(xiàn)更快、更簡(jiǎn)單、更的測(cè)量
對(duì)于顯示測(cè)量顯微鏡輸出的數(shù)據(jù)和圖像來(lái)說(shuō),看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和測(cè)量。為了支持高精度、高復(fù)雜性的測(cè)量,奧林巴斯測(cè)量軟件可以和數(shù)碼照相機(jī)結(jié)合使用。更多詳細(xì)內(nèi)容可咨詢上海富萊光學(xué)、奧巴儀器。
STM7規(guī)格
小型手動(dòng)鏡架
STM7-SF 小型電動(dòng)鏡架
STM7-SFA 中型手動(dòng)鏡架
STM7-MF 中型電動(dòng)鏡架
STM7-MAF 大型手動(dòng)鏡架
STM7-LF 大型鏡架
STM7-LFA
顯微鏡
鏡架
聚焦 垂直移動(dòng)范圍 175 mm 145 mm
zui大的測(cè)量高度 120 mm(配備測(cè)量物鏡)
175 mm(配備金相物鏡) 90 mm(配備測(cè)量物鏡)
145 mm*1(配備金相物鏡)
Z軸測(cè)量分辨率 0.1 μm
Z軸驅(qū)動(dòng)方法 手動(dòng)同軸
微調(diào)/粗調(diào)
焦旋鈕 電馬達(dá)驅(qū)動(dòng):
●聚焦按鈕:
移動(dòng)速度
8 mm/s(zui大)
●微/粗調(diào)焦旋鈕:
微調(diào)焦速度(旋轉(zhuǎn)
一周移動(dòng)量)
有4檔可供選擇
(800 μm,400μm,
100 μm,50 μm) 手動(dòng)同軸
微調(diào)/粗調(diào)
焦旋鈕 電馬達(dá)驅(qū)動(dòng):
●聚焦按鈕:
移動(dòng)速度
8 mm/s(zui大)
●微/粗調(diào)焦旋鈕:
微調(diào)焦速度(旋轉(zhuǎn)
一周移動(dòng)量)
有4檔可供選擇
(800 μm,400μm,
100 μm,50 μm) 手動(dòng)同軸
微調(diào)/粗調(diào)
焦旋鈕 電馬達(dá)驅(qū)動(dòng):
●聚焦按鈕:
移動(dòng)速度
8 mm/s(zui大)
●微/粗調(diào)焦旋鈕:
微調(diào)焦速度(旋轉(zhuǎn)
一周移動(dòng)量)
有4檔可供選擇
(800 μm,400μm,
100 μm,50 μm)
照明 LED照明 白色:用于反射光照明,綠色:用于透射光照明
鏡筒 正像單目鏡筒,正像三目鏡筒(100:0/0:100)
物鏡 測(cè)量顯微鏡用 MM6-OB系列
金相顯微鏡用 MPLFLN 系列, LMPLFLN 系列, MPLFLN-BD 系列, LMP LFLN-BD 系列
目鏡 MM6-OCC10X (帶十字線, FN 22), MM6-O C10X (FN 22)
載物臺(tái) 測(cè)量范圍 STM7-CS50:
X軸 50 mm, Y軸 50 mm
STM7-CS100:
X軸 100 mm, Y軸 100 mm STM7-CS200:
X軸 200 mm, Y軸 200 mm STM7-CS300:
X軸 300 mm, Y軸 300 mm
測(cè)量度
(L:測(cè)量長(zhǎng)度) STM7-CS50: (3 L/50) μm
STM7-CS100: (3 2L/100) μm (3 4L/200) μm (3 6L/200) μm
度重量 STM7-CS50: 5 kg
STM7-CS100: 6 kg 10 kg 15 kg
計(jì)數(shù)器顯示 軸數(shù) 3軸
單位 毫米/微米/英寸/密耳
zui小分辨率 0.1 μm
外形尺寸(寬×長(zhǎng)×高)(mm) 466 x 583
x651 466 x 583 x 811 606 x 762 x 651 606 x 762 x 811 804 x 1024 x 686 804 x 1024 x 844
重量 約84 kg 約92 kg 約152 kg 約159 kg 約277 kg 約284 kg
額定功率 100-120/220-
240V ~
物鏡
測(cè)量物鏡 MM6-OB系列 59.6 76.8 65.4 50.5 - - -
金相物鏡 MPLFLN系列 明場(chǎng) - - 20.0 11.0 3.1 1.0 1.0
LMPLFLN系列 長(zhǎng)工作距離 - - 22.5 21.0 12.0 10.6 3.4
MPLFLN-BD系列 明場(chǎng)/暗場(chǎng) - - 12.0 6.5 3.0 1.0 1.0
LMPLFLN-BD系列 明場(chǎng)/暗場(chǎng)
長(zhǎng)工作距離 - - 15.0 10.0 12.0 10.6 3.3