羅茨泵－水環(huán)泵－大氣泵機組即使采用雙級水環(huán)泵，極限真空度的提高也只是在一定的范圍之內(nèi)，這是因為受到水的飽和蒸汽壓的限制。水環(huán)泵的理論極限壓力就是水的飽和蒸汽壓。如果考慮氣體返流等因素的影響，實際上水環(huán)泵的極限壓力比該水溫上的飽和蒸汽壓力為高。為了提高前級泵的極限真空度，還可以使水環(huán)泵與大氣泵組合使用。這樣，串聯(lián)一級大氣泵后的極限真空度可達20~30Torr,如果水環(huán)泵與二級大氣泵組合，則極限真空可達2~10Torr。工作原理：真空泵主要由真空泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋和彈簧等組合而成。在2X旋片真空泵的泵腔內(nèi)安裝轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子的外圓和真空泵腔內(nèi)表面相切，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個旋片，將定子分成高、低級兩個工作腔，旋轉(zhuǎn)時，真空泵靠離心力和彈簧的張力使旋片頂部與真空泵腔的內(nèi)壁保持親密接觸，而轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)帶動旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動，使得工作腔容積周期性擴大而吸氣，低級工作腔容積周期性縮小而壓縮氣體，借助氣體和油的壓力推開排氣閥排氣，從而進一步地獲得真空。當吸入壓力較高時，氣體在腔內(nèi)被壓縮，壓力劇增，則被壓縮的氣體的一部分直接從輔助排氣閥排出，另一部分氣體經(jīng)壓縮后通過中壁內(nèi)的通道進入低級腔，再次壓縮后從低級排氣閥排出，此時高低級腔同時排氣；當吸入壓強較低時，氣體由吸氣口進入腔內(nèi)，而氣體在腔內(nèi)壓縮所產(chǎn)生的壓力不足以推開輔助排氣閥而直接通過級間通道進入低級工作腔，再次壓縮后從低級排氣閥排出。它的結構和工作原理與羅茨鼓風機相似，工作時其吸氣口與被抽真空容器或真空系統(tǒng)主抽泵相接。這種真空泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼之間互不接觸，原理圖間隙一般為0.1～0.8毫米；不需要用油潤滑。轉(zhuǎn)子型線有圓弧線、漸開線和擺線等。漸開線轉(zhuǎn)子泵的容積利用率高，加工精度易于，故轉(zhuǎn)子型線多用漸開線型。羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可高達3450～4100轉(zhuǎn)/分;抽氣速率為30～10000升/秒（1升=10-3米3）；極限真空：單級為6.5×10-2帕，雙級為1×10-3帕。