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②干式螺桿真空泵：它是一種不用油類（或液體）密封的變容真空泵。③液環(huán)式真空泵：帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內，當它旋轉時，把液體（通常為水或油）拋向泵殼內形成泵殼同心的環(huán)液，環(huán)液同轉子葉片形成了容積周期性變化的幾個小容積，故亦稱旋轉變容真空泵。特點(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；(2)轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩(wěn)。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現(xiàn)較高轉速；(3)泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染；(4)泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。a旋片式真空泵：轉子以一定的偏心距裝在泵殼內并與泵殼內表面的固定面靠近，在轉子槽內裝有兩個（或兩個以上）旋片，當轉子旋轉時旋片能沿其徑向槽往復滑動且與泵殼內壁始終接觸，此旋片隨轉子一起旋轉，可將泵腔分成幾個可變容積。b.滑閥式真空泵：在偏心轉子外部裝有一個滑閥，轉子旋轉帶動滑閥沿泵殼內壁滑動和滾動，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導軌中滑動，而泵腔分成兩個可變容積。
