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（1）蒸發(fā)離子泵：泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華（或蒸發(fā)）而覆在泵內壁的吸氣材料上，以實現抽氣的一種真空泵。（2）濺射離子泵：泵內被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺射散出來的吸氣材料上，以實現抽氣目的的一種真空泵。低溫泵：利用低溫表面捕集氣體的真空泵（2)泵的傳動方式真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現其相對同步運轉的。主動軸通過聯軸器與電機聯接。在傳動結構布置上主要有以下兩種：其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如圖。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉子軸的扭轉變形小，則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變，故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻。這種傳動方式的da缺點是：a.主動軸上有三個軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調整也不便；b.整體結構不勻稱，泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側。⑺對于有冷卻水的真空泵，按規(guī)定接通冷卻水。⑻如真空泵口安裝電磁閥時，閥與真空泵應同時動作。⑼當真空泵排出氣體影響工作環(huán)境時，可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。
