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真空直線平臺:
真空步進電機絲桿平臺, 真空電機直線滑臺, 真空直線平臺,真空滾珠絲杠平臺
雙軸真空絲杠平臺,三軸真空絲桿直線平臺
AML的超高真空直線絲桿平臺提供長行程,具有小高度可以負(fù)荷達10kg,他們有廣泛間隔的“五輥”滾筒導(dǎo)軌在簡單的復(fù)合機制中是有用的扭轉(zhuǎn)載荷小。他們是制造使用耐真空的特殊材料,動力使用AML的耐高真空步進電機步進電機。直線運動由金剛石研磨的并校正的絲桿和螺母配合,精密研磨以良好的精度并將預(yù)緊絲杠位置穩(wěn)定性消除齒隙。
真空平臺指標(biāo)
行程25-250mm , 每步的分辨率可以達到1u,零間隙,高剛性結(jié)構(gòu),負(fù)載可以達到50kg??梢灾苯哟钶dXYZ運動平臺。真空度范圍是:10^10mbar以內(nèi)。使用交叉滾珠導(dǎo)軌運動,使運動精度更高。