伯東公司德國普發(fā)pfeiffer 鍍膜機-靈活設(shè)計適合技術(shù)研究、開發(fā)和生產(chǎn),可實現(xiàn)高真空蒸發(fā)鍍膜,磁控濺射鍍膜,離子鍍.Pfeiffer Classic 系列鍍膜機(高真空鍍膜系統(tǒng))經(jīng)過大量實驗和技術(shù)知識積累研發(fā)設(shè)計
主要應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體,光學(xué),微電子學(xué),顯示屏,光電工程,生物醫(yī)學(xué)工程等行業(yè).
Pfeiffer 鍍膜機主要型號包含:
Pfeiffer Classic 250 鍍膜機(科研,小型研發(fā))
Pfeiffer Classic 500 鍍膜機(科研,小規(guī)模生產(chǎn))
Pfeiffer Classic 570 鍍膜機 (批量生產(chǎn))
Pfeiffer Classic 580 鍍膜機 (生產(chǎn)線大批量生產(chǎn))
Pfeiffer Classic 590 鍍膜機 (高吞吐量,通用的制造系統(tǒng),滿足較高工業(yè)需求)
Pfeiffer Classic 620 鍍膜機 (較大吞吐量)
pfeiffer 鍍膜機主要優(yōu)勢:
pfeiffer鍍膜機腔體
可搭配多種泵組(渦輪分子泵、低溫泵或油擴散泵)
pfeiffer 鍍膜機真空腔體可冷卻可加熱,極限真空度較高可達(dá) < 5 · 10-7 mbar,腔體漏率 < 1 · 10-5 mbar l/s
真空腔體大小 35 至 1300 l(特殊尺寸可定制)
鍍膜機各種尺寸大小,根據(jù)實際應(yīng)用和氣體吞吐量決定
內(nèi)置各種標(biāo)準(zhǔn)配件,堅固耐用滿足嚴(yán)苛工業(yè)環(huán)境
低運營成本,易維護(hù),兼容潔凈室
通過附加配件升級鍍膜機功能
pfeiffer 鍍膜機所有真空腔體均是不銹鋼材質(zhì)
通過ISO 9001認(rèn)證, ISO 14001認(rèn)證,低能耗
pfeiffer 鍍膜機工藝:
pfeiffer德國普發(fā)鍍膜機
pfeiffer 鍍膜機 蒸鍍過程優(yōu)勢:
pfeiffer 鍍膜機蒸鍍
抗反射涂層
耐劃傷性涂料
激光面鏡
接觸金屬化
合金的沉積(Co-evaporation)
pfeiffer 鍍膜機 磁控濺射介紹:
pfeiffer 鍍膜機 磁控濺射
除了高真空蒸鍍系統(tǒng),伯東公司德國普發(fā)pfeiffer 也提供磁控濺射腔體可選load-lock.相應(yīng)型號Classic 250 to 570,有標(biāo)準(zhǔn)版本供選擇或根據(jù)濺射過程選擇(SP)定制版本
可用于:
金屬層(金、銅、鋁、鉻、…)
電介質(zhì)層(二氧化硅,氧化鋁,…)
透明導(dǎo)電層(ITO
磁層
合金的沉積(co-sputtering)
伯東公司 pfeiffer 鍍膜機客戶現(xiàn)場圖片:
pfeiffer 鍍膜機
pfeiffer 鍍膜機
pfeiffer 鍍膜機
pfeiffer 鍍膜機
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伯東企業(yè)(上海)有限公司是德國普發(fā)授權(quán)代理商。伯東真空主營產(chǎn)品德國 Pfeiffer 渦輪分子泵, 干式真空泵, 羅茨真空泵, 旋片真空泵; 應(yīng)用于各種條件下的真空測量(真空計, 真空規(guī)管); 氦質(zhì)譜檢漏儀;質(zhì)譜分析儀;真空鍍膜機,真空系統(tǒng)以及HVA 真空閥門, Polycold 冷凍機. CTI 低溫泵和美國KRI 離子源.Gamma離子泵。離子刻蝕機等
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