漢鐘干式真空泵 包括臺灣漢鐘干式螺桿式真空泵和臺灣漢鐘干式多級羅茨真空泵 PDR系列 包括機型 漢鐘真空泵 PDR100 ， 漢鐘真空泵 PDR602， 漢鐘 真空泵 PDR1202 上海漢鐘干式真空泵 PS系列 包括機型 漢鐘真空泵PS80 ，漢鐘真空泵PS160，漢鐘真空泵 PS180，漢鐘真空泵 PS602，漢鐘真空泵 PS1302 臺灣漢鐘真空泵PS系列產(chǎn)品特點 螺旋真空泵浦產(chǎn)品特色 　　漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉(zhuǎn)子，在轉(zhuǎn)子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉(zhuǎn)時腔體內(nèi)無需潤滑，因而無油氣回漏污染的問題。透過專利轉(zhuǎn)子線形良好的密封效果，壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強，加上轉(zhuǎn)子表面披覆特殊材質(zhì)的鍍膜，因此可適用于PECVD、Etching等嚴苛制程。 泵浦溫度控制 　　漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦，承襲上一代真空泵浦優(yōu)良的轉(zhuǎn)子設計，同時改善殼體的冷卻方式，采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度，能夠更地控制泵浦內(nèi)部溫度，減少沉積物的產(chǎn)生，增加真空泵浦的壽命。 密封馬達安全性高 　　PS系列真空泵浦亦全面采用專利設計的水冷罐裝密封馬達，除了能維持更低的馬達運轉(zhuǎn)溫度增加馬達的壽命外，也可完全避免制程氣體外漏的風險。 微電腦控制保護周全 　　PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器，可同時監(jiān)控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低，提供真空泵浦完整的安全性保護，十分適用于光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產(chǎn)品穩(wěn)定性要求極高之產(chǎn)業(yè)。 PZt系列雙級旋片泵 世界先進的技術 1.兩檔可調(diào)氣鎮(zhèn)，更方便不同工藝對蒸汽排出量的要求。 2.強制潤滑，內(nèi)置齒輪泵及恒壓供油機構(gòu)強制供油，高吸氣壓強下也能提高穩(wěn)定運行。 3.雙重防返沒油結(jié)構(gòu)，自動防返油結(jié)構(gòu)設計，更地保護您的真空系統(tǒng)在停機后免受油的污染。 4.整體式泵體，零部件量少，重復性好，便于維修及保養(yǎng)。 公司名稱：深圳信仕德科技有限公司 姓 名：邱國鋒先生 公司地址：深圳寶安73區(qū)國通綜合樓首層21號