低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的放電電壓時(shí)，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。利用高頻高壓的電場(chǎng)與光輻照在電場(chǎng)作用下，離子發(fā)生器產(chǎn)生大量的粒子， 粒子與空氣中的氧分子進(jìn)行碰撞而形成正、負(fù)氧離子。光與廢氣氣體分子的相互作用又可以看做是輻射場(chǎng)（震蕩電場(chǎng)）與電子（震蕩偶極子）會(huì)聚時(shí)的一種能量交換。使廢氣物質(zhì)分子的能態(tài)發(fā)生了改變，即分子的轉(zhuǎn)動(dòng)、振動(dòng)或電子能級(jí)發(fā)生變化，由低能態(tài)被激發(fā)至高能態(tài)，這種變化是量子化的。且在與 VOC 分子相接觸后打開(kāi)有機(jī)揮發(fā)性氣體的化學(xué)鍵，經(jīng)過(guò)一系列的復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，終生成二氧化碳和水等穩(wěn)定無(wú)害的小分子。 （1）在產(chǎn)生等離子體的過(guò)程中，高頻放電所產(chǎn)生的瞬間高能量能夠打開(kāi)某些有害氣體分子的化學(xué)能，如：苯、甲苯、二甲苯、氨、胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯、乙烯，硫化物H2S、VOC類的分子鏈結(jié)構(gòu)，使有機(jī)或無(wú)機(jī)高分子惡臭化合物分子鏈分解為單質(zhì)原子或無(wú)害分子。 （2）等離子體中包含大量的高能電子、正負(fù)離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強(qiáng)氧化性的自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結(jié)合，在電場(chǎng)作用下，廢氣分子處于激發(fā)態(tài)，當(dāng)廢氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結(jié)合能時(shí)，廢氣分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質(zhì)原子或由單一原子構(gòu)成得無(wú)害氣體分子。 反應(yīng)過(guò)程如下： O2 e（3.6eV）→?O O H2O e（5.09eV）→?OH H－ O ?OH→?OH2 H2S ?OH→HS H2O HS O2 O2＋ O2－→SO3 H2O NH3?OH→NH2 H2O CH2O O2＋ O2→ ?OH→H?COOH H2O