主要技術(shù)指標
質(zhì)量流量控制器(流量計)出廠通常用氮氣(N2)標定。
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為: 標準狀態(tài) mL/min (毫升/分鐘) (SCCM行業(yè)標準)
標準狀態(tài)L/min (升/分鐘) (SLM行業(yè)標準)
標準狀態(tài)規(guī)定為:溫度 --- 0℃
氣壓 — 101325 Pa
F.S (Full Scale):表示滿量程值
表1 S49 33M/MT型質(zhì)量流量控制器(流量計)技術(shù)指標
編號 項目 S49 33/MT
1 流量規(guī)格 (5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10) L/min (15,20,30) L/min
2 調(diào)節(jié)閥類型 電磁調(diào)節(jié)閥
3 調(diào)節(jié)閥靜止位置 常閉
4 準確度 ± 1.0% F.S ± 2.0% F.S
5 線性 ±1.0 % F.S,±2.0 % F.S
6 重復精度 ±0.2 %F.S
7 響應(yīng)時間 ≤8 s(T95)
8 工作壓差范圍 (50 ~ 300) kPa; (10~30)L/min (100~300)kPa
9 耐壓 3 MPa ﹑ 10 MPa
10 工作環(huán)境溫度 5℃ ~ 45℃
11 材料 不銹鋼316L
12 標準密封材料 Viton?﹑EPDM, 或其他
13 漏率 1×10-8?Pa.m3/s
14 接頭 Ф3mm~Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR),
軟管接頭Ф4mm~Ф10mm 或其它
15 輸入輸出信號 0 V ~ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)
16 電源 +15 V 50 mA
-15V 200 mA
17 外形尺寸 mm 134×134×38
18 重量 kg 1.2
注意: S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計)分不同的流量范圍,供用戶選擇,也可根據(jù)用戶提出流量定制。