MTI AS-500納米級超高精度電容式傳感器 高分辨率：納米級響應(yīng)頻率：5KHz 特性： AS-500是具有超高精度、穩(wěn)定性、重復(fù)性和分辨率的電容式傳感器。其反應(yīng)速度快，噪聲干擾小，是檢測轉(zhuǎn)軸、磁盤、輪胎及晶圓的理想選擇。 AS-500價格經(jīng)濟、功能！具備納米分辨率,重量輕、體積小、可隨身攜帶，操作快速簡便。 應(yīng)用范圍： AS-500適于半導(dǎo)體、磁盤驅(qū)動器、機械用具、電子工業(yè) ●位移、●厚度、●同軸度、●振動、●尺寸大小、●平坦度、 ●內(nèi)外徑、●發(fā)動機動能 放大器規(guī)格： 特點 AS-9000 AS-500 MicroCap 通道數(shù) 多 2通道 多6通道 1通道 1測量范圍 0 to 12.5mm (0 to 0.5 in.) 2分辨率(%滿量程) RMS 0.001% 3精度(%滿量程) ± 0.02% 頻率響應(yīng) 標準的濾波器模塊有(10Hz, 100Hz, 200Hz, 500Hz, 1kHz, 2kHz or 5kHz) 可選組件 溫度穩(wěn)定性 ± 0.01% FSR/ °C 模擬輸出 0-10 Vdc BNC4 BNC4 歐洲標準螺絲端子 輸出阻抗 50 電力需求 85到265 Vac 47到 440Hz 85到 265 Vac 47到 440 Hz 可選12 Vdc ± 15 Vdc 求和放大器 標準的雙通道單位 插板卡式 沒有 操作溫度 4 to 38°C 尺寸 240x160x50mm 175x140x340mm 150x60 x13mm 重量 2.3 kg 4.6 kg 0.11 kg 標準探頭規(guī)格：(單位：mm) 測量范圍 50Hz RMS時的分辨率 量程擴大倍數(shù)1 5kHz RMS時的分辨率 探頭感測直徑 探頭直徑 探頭長度 產(chǎn)品型號 μm nm nm mm mm mm ASP-25M-CTR 25 nm 10x 1.5 1.09 9.49 25.5 ASP-25M-ILR 26 nm 9x 2.5 2.09 10.49 26.5 ASP-25M-CTA 27 nm 10x 3.5 3.09 11.49 27.5 ASP-25M-ILA 28 nm 9x 4.5 4.09 12.49 28.5 ASP-50M-CTR 29 nm 9x 5.5 5.09 13.49 29.5 ASP-50M-ILR 30 nm 4x 6.5 6.09 14.49 30.5 ASP-50M-CTA 31 nm 9x 7.5 7.09 15.49 31.5 ASP-50M-ILA 32 nm 4x 8.5 8.09 16.49 32.5 ASP-125M-CTR 33 nm 10x 9.5 9.09 17.49 33.5 ASP-125M-ILR 34 nm 2x 10.5 10.09 18.49 34.5 ASP-125M-CTA 35 nm 10x 11.5 11.09 19.49 35.5 ASP-125M-ILA 36 nm 2x 12.5 12.09 20.49 36.5 ASP-250M-CTR 37 nm 9x 13.5 13.09 21.49 37.5 ASP-250M-ILR 38 nm 2x 14.5 14.09 22.49 38.5 ASP-250M-CTA 39 nm 3x 15.5 15.09 23.49 39.5 ASP-250M-ILA 40 nm 2x 16.5 16.09 24.49 40.5 ASP-500M-CTR 41 nm 3x 17.5 17.09 25.49 41.5 ASP-500M-ILR 42 nm 2x 18.5 18.09 26.49 42.5 ASP-500M-CTA 43 nm 4x 19.5 19.09 27.49 43.5 ASP-500M-ILA 44 nm 2x 20.5 20.09 28.49 44.5 ASP-1250M-ILR 45 nm 2x 21.5 21.09 29.49 45.5 ASP-1250M-CTA 46 nm 2x 22.5 22.09 30.49 46.5 ASP-1250M-ILA 47 nm 2x 23.5 23.09 31.49 47.5 ASP-2500M-CTR 48 nm 2x 24.5 24.09 32.49 48.5 ASP-2500M-ILR 49 nm 2x 25.5 25.09 33.49 49.5 ASP-2500M-CTA 50 nm 2x 26.5 26.09 34.49 50.5 ASP-2500M-ILA 51 nm 2x 27.5 27.09 35.49 51.5 ASP-5000M-CTR 52 nm 2x 28.5 28.09 36.49 52.5 ASP-5000M-ILR 53 nm 2x 29.5 29.09 37.49 53.5 ASP-5000M-CTA 54 nm 2x 30.5 30.09 38.49 54.5 ASP-5000M-ILA 55 nm 2x 31.5 31.09 39.49 55.5 產(chǎn)品型號 ASP-25M-PSR ASP-50M-PSR ASP-500M-PSR ASP-1250M-PSR ASP-2500M-PSR ASP-5000M-PSR μm 25 50 500 1250 2500 5000 小測量范圍 μm 1.27 2.54 25.4 63.5 127 254 nm 0.039 0.079 0.785 1.963 3.926 7.852 大測量范圍 9x 4x 2x 2x 2x 2x nm 0.137 0.274 2.745 6.864 13.728 27.457 E mm 1.09 1.55 4.98 7.98 11.25 15.93 L mm 7.5 7.7 10.2 18 29.75 42.5 W mm 8 8 8 13.9 25.4 38 T mm 2.5 2.5 2.5 2.5 2.5 5 溫度范圍： 標準探頭： -130℃～200℃ 高溫探頭： -130℃～650℃ 精度： /-0.1% 滿量程 電纜長度：標準電纜長度為2.7米，可以定制其他規(guī)格 壓力范圍： 標準-200psig 高壓-20000psig附：電容位移傳感器的分辨率（resolution）計算方法感度（sensitivity）=量程（range）/10V(full scale voltage) 噪音=1mv*開更號（Fr/500)(Fr為所選擇的濾波器頻率 ) 分辨率(resolution)=感度（sensitivity）×噪音(noise)注意：Fr的選擇要稍大于被測物實際振動頻率 濾波器頻率(Frequency Response filter) 噪音(Noise in mVp-p) 10HZ 0.150mv 50HZ 0.316mv 100HZ 0.447mv 500HZ 1.000mv 1KHZ 1.400mv 2KHZ 2.000mv 5KHZ 3.200mv 10KHZ 4.500mv 20KHZ 6.300mv