普旭(busch)所有R5/RA系列真空泵具有下列之共同特性:
1.設(shè)計(jì)精密.結(jié)構(gòu)堅(jiān)固.重量輕.易于安裝及維護(hù).
2.空氣冷卻(氣冷式).
3.值結(jié)式驅(qū)動(dòng),可避免轉(zhuǎn)動(dòng)皮帶及齒輪之松弛或損耗.
4.含率油霧過濾器,不須將氣體排出室外.
5.進(jìn)氣口有逆止閥,當(dāng)泵浦停止時(shí),此逆止閥可隔離泵浦于系統(tǒng),避免真空油逆流.
6.低震動(dòng),不需用基礎(chǔ)螺拴固定泵浦.
7.運(yùn)轉(zhuǎn)聲音小.
8.具氣體壓載閥,可適用于蒸氣之制程.
9.即在真空度0.5mbar到40mbar之間進(jìn)入泵浦入口之水蒸氣,會(huì)從泵浦出氣口完全排出,而不會(huì)在泵浦內(nèi)發(fā)生凝結(jié)現(xiàn)象.