超水設備通常由多介質過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等構成預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構成主要設備系統(tǒng)。原水箱、中間水箱、RO水水箱、超水水箱均設有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設有高低壓壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人值守,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使該設備與其它同類產品相比較,具有更高的性價比和設備性。
電子工業(yè)超水設備主要用途:
電子工業(yè)超水設備主要用于微電子產品生產用水,半導體、顯象管制造業(yè)用超水,集成電路板生產清洗用超水,蓄電池、鋰電池、太陽能電池、干電池等生產用水,水,超水的制備。
電子工業(yè)超水設備工藝流程:
1.電子工業(yè)超水設備概述
電子工業(yè)超水設備主要在半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的水、水、超水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,線寬越窄,對水質的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質技術分為五個行業(yè)等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質。
2.制備電子工業(yè)超水設備的工藝流程
電子工業(yè)制備超水的工藝大致分成以下3種: