大規(guī)模集成電路制造潔凈廠房通風(fēng)設(shè)計(jì)

  近些年在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計(jì)中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產(chǎn)層點(diǎn)燈格柵以上的上技術(shù)夾層嘗嘗作為送風(fēng)靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng)，實(shí)際上，潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層，在下技術(shù)夾層還設(shè)置一下公用動(dòng)力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動(dòng)力管線等。

  大規(guī)模集成電路制造潔凈廠房通風(fēng)設(shè)計(jì)，在潔凈車間的平面設(shè)計(jì)中，每個(gè)進(jìn)入控制區(qū)的人口均有風(fēng)淋室或氣閘室，將生活區(qū)、一般生產(chǎn)區(qū)與控制區(qū)分隔開來。按衛(wèi)生部GMP規(guī)范規(guī)定和生產(chǎn)工藝要求的凈化級(jí)別，我們?cè)跐崈糗囬g空調(diào)機(jī)入口及出口處分別設(shè)置了初效、中效或亞*效二級(jí)過撼裝置，送風(fēng)末端設(shè)置了亞高效或高效過濾器，靜壓箱和送風(fēng)口根據(jù)工藝要求成組布置在頂棚上。

     我們按潔凈級(jí)別為10000級(jí)，換氣次數(shù)取10-20 次／小時(shí)；1000級(jí)的換氣次數(shù)取20-30次／小時(shí)；100級(jí)的則按控制風(fēng)速計(jì)算送風(fēng)量。如果一味地用增加換氣次數(shù)，加大送風(fēng)量來滿足凈化要求，勢(shì)必加大空調(diào)機(jī)組送風(fēng)量，提高主機(jī)的容量，增加能耗，況且凈化效果也不盡如人意。潔凈車間為此可以考慮在個(gè)別潔凈度要求高的房間采用設(shè)置百級(jí)層流罩方案，加強(qiáng)局部的通風(fēng)換氣，達(dá)到凈化要求。具體做法是：將送風(fēng)機(jī)和高效過濾器組成的機(jī)組形成一個(gè)局部的小的層流送回風(fēng)系統(tǒng)。如果在這個(gè)機(jī)組下面再加上垂直擋壁至工作臺(tái)面，形成一個(gè)局部層流罩，則效果就更佳了?？照{(diào)回風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)中，回風(fēng)口布置恰當(dāng)與否，也是一個(gè)關(guān)鍵的問題。