DP9B-5P型雙面拋光機(jī)
詳細(xì)資料 ? | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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主要適用于半導(dǎo)體硅片、磁性材料、藍(lán)寶石、光學(xué)玻璃、金屬材料及其它硬脆材料的雙面高精度率的拋光加工。 設(shè)備采用四動拋光原理;二電機(jī)分別拖動上下拋盤、太陽輪、內(nèi)齒圈;PLC調(diào)整設(shè)定控制;彩色NT顯示的人機(jī)界面系統(tǒng)。設(shè)備配置大功率減速系統(tǒng),軟啟動、軟停止,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),拋光時間根據(jù)計時器可隨意設(shè)定,采用了自動供給拋光液裝置。與拋光液接觸的零部件選用了防腐材料或表面進(jìn)行了特殊處理。通過精密稱重傳感器與高精密的氣動控制系統(tǒng)聯(lián)合實現(xiàn)了壓力閉環(huán)反饋控制,確保了工件壓力的準(zhǔn)確性。拋光液系統(tǒng)具有獨立攪拌、循環(huán)水冷卻、拋光液加熱以及拋光液溫度檢測功能,各功能可選配制做。 雙面拋參數(shù)
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