Master

反復(fù)性、準(zhǔn)確性、重現(xiàn)性

框架一體型

自動鏡頭調(diào)整鈕

Capacity Sensor

自動濾鏡

縫紉功能

自動對焦功能

安裝3個變焦距鏡頭

自動、半自動、手動測量模式

產(chǎn)品概要

    三維表面輪廓儀利用光的干擾，可迅速，準(zhǔn)確，并高檢測性的對1nm~10mm高度的模型的表面想象進(jìn)行納米單位測量。相比接觸性方式，不會對測量物造成任何損傷，相比共焦方式，高解像力無關(guān)倍率均可得到統(tǒng)一結(jié)果，與AFM相比，可在寬測量領(lǐng)域內(nèi)快速測量。

高度解像力0.1nm

任何倍率下，解像力均統(tǒng)一

測量納米等級

測量高速，高精密度，高解像力表現(xiàn)形象

可測量透明/半透明/不透明登各種樣品

無需非破壞，預(yù)加工程序即可輕松測量

反復(fù)性，準(zhǔn)確性，重現(xiàn)性

應(yīng)用領(lǐng)域

主要特征

測量高度，長度，段差，線，圓，弧，角度，款，寬，距離

面粗糙度，線粗糙度，波形

測量劃痕，磨損，缺陷

測量面積，大小

測試原理

利用光的干涉信號，將表面的形狀到1nm~10cm為止，沒有材料的破損，從相機(jī)中顯示的全部領(lǐng)域，正確，檢測到高強(qiáng)度為單位。

干涉信號是在任意義的基準(zhǔn)點中，同時出現(xiàn)的光在移動到不同的場景（optical path），在移動后合上的時候，用兩個場景（optical path）的物理現(xiàn)象，是一種明亮的明亮的形態(tài)，這是干涉信號。

精密的Piezo掃描

高度以Piezo掃描通過Capacity Sensor進(jìn)行Closed Loop

整體掃描范圍的0.1%呈線性

通過1次校準(zhǔn)，2次校準(zhǔn)，提高數(shù)據(jù)可靠性

Scan范圍

Scan范圍：100um，150um, 300um, 500um, 10mm

變焦鏡頭

變焦鏡頭: 0.33x，0.55x， 0.75x， 1.0x，1.5x， 2.0x

物鏡

 2.5x，5x, 10x， 20x， 50x， 100x

干涉鏡頭

干涉鏡頭(Michelson型) : 0.3x, 2.5x，5x

干涉鏡頭(Mirau型): 10x， 20x， 50x， 100x

Multi濾光鏡

多種濾光鏡選擇

調(diào)整干涉鏡頭

隨溫度變化的干涉紋樣調(diào)整

操作臺

真空操作臺，選擇操作臺，Aligner操作臺