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燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的專用設(shè)備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機(jī)成分、完成鋁背場及柵線燒結(jié)。
要求:
為了保障粉末壓坯在燒結(jié)過程中的脫蠟（潤滑劑或成形劑）、還原、合金化、組織轉(zhuǎn)變等順利進(jìn)行，燒結(jié)時(shí)需要對(duì)燒結(jié)溫度、保護(hù)氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進(jìn)行的控制。因此，燒結(jié)爐在結(jié)構(gòu)上應(yīng)滿足以下要求：
(1)具有完善的潤滑劑燒除裝置（俗稱脫蠟帶）。
(2)具有氣密性，即能隔絕爐外空氣并爐內(nèi)保護(hù)氣氛暢通。
(3)爐內(nèi)的各段溫度可控，燒結(jié)氣氛可調(diào)。
(4)具有快速冷卻裝置，可將燒結(jié)零件快速冷卻到出爐溫度而不會(huì)氧化。
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