產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
它是一種多室型濺射裝置,可以配備多個(gè)處理室(*多3個(gè)腔室200E,*多5個(gè)腔室200J和*多7個(gè)腔室200)
產(chǎn)品特性:
? 可運(yùn)輸Φ200mm板
? 作為處理室的各種模塊的陣容
? 介電模塊
? 高溫成膜模塊
? 精密分配模塊
? 蝕刻模塊
產(chǎn)品應(yīng)用:
? 電子零件
? 微機(jī)電系統(tǒng)
? 動(dòng)力裝置
? 發(fā)光二極管