 真空艙體 W400 mm × H400 mm × D625 mm (100 升) 外形尺寸W600mm ×H1800mm ×D1000mm  * 分層(最多到10層) 電極-托盤(pán) * 不銹鋼艙體 * 40KHz 射頻發(fā)生器 * 高效針孔電極 * 雙氣路，針閥 * 全自動(dòng)控制 * 功率連續(xù)可調(diào) 0-2500W * 自動(dòng)阻抗匹配 * 電磁閥保護(hù)，回流油霧不能進(jìn)入艙體 * 規(guī)格：W600 mm×H2200 mm× D800 mm * 電源：AC 380V/50Hz  選裝件 * 13.56 MHz 射頻發(fā)生器 * 2.45 GHz 射頻發(fā)生器 * 旋轉(zhuǎn)圓筒艙體(適用于處理顆粒狀樣品)  配件選裝指南 • 13.56MHz射頻發(fā)生器 • 2.45GHz射頻發(fā)生器 • 半自動(dòng)控制系統(tǒng) • 全自動(dòng)控制系統(tǒng)- 操作輕松簡(jiǎn)便的控制系統(tǒng) • 計(jì)算機(jī)(PC)控制系統(tǒng) - 操作輕松簡(jiǎn)便的控制系統(tǒng)同時(shí)可記錄處理的整個(gè)過(guò)程 • 附加氣體通路 • 自動(dòng)真空艙門(mén) • 設(shè)備自動(dòng)門(mén) • 條碼閱讀器 • 偏壓測(cè)量系統(tǒng) • 碟型閥 • 排氣過(guò)濾系統(tǒng) • 適用于腐蝕性氣體系統(tǒng) • 艙體托盤(pán)可訂做 - 適合艙體的最佳尺寸 • 粉末處理裝置 • 法拉第容器 • 氣體供給系統(tǒng) - 在等離子聚合過(guò)程中提供密度均勻的單體 • 玻璃艙體(硅酸鹽或石英) • 預(yù)熱板 • 等離子測(cè)量傳感器 - 應(yīng)用在等離子聚合過(guò)程和含腐蝕性環(huán)境中 • 真空泵抽氣入口過(guò)濾器 • 標(biāo)簽打印機(jī) • 標(biāo)簽閱讀機(jī) • 加深艙體 • 單體瓶- 輕松的控制不穩(wěn)定的液體含量 • 網(wǎng)絡(luò)連接系統(tǒng) • 聚合處理附件 • 氣瓶出氣減壓閥 • 石英玻璃皿 • 卷軸艙體系統(tǒng)- 適用于批量處理薄膜、箔等 • RIE電極(適用于刻蝕) • 旋轉(zhuǎn)艙體系統(tǒng) - 適用于纖維、紡輪、顆粒狀等樣品的均勻、批量處理 • 安全閥 • 服務(wù)條約- 使用易燃、易爆性氣體，例如：氫氣、乙炔… • 附加的配件 • 特殊的電極和托盤(pán) • 特殊法蘭/附加法蘭 • 特殊軟件 • 特殊真空艙體 • 過(guò)程溫度測(cè)量 • 測(cè)試墨水(用于測(cè)試表面接觸角) • 真空泵系統(tǒng)