一、應用范圍概述:
電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗 電子管生產 電子管陰極涂敷碳酸鹽配液 顯像管和陰極射線管生產配料用水黑白顯像管熒光屏生產 玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用水 液晶顯示器的生產 屏面需用水清洗和用水配液晶體管生產中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制集成電路生產中水清洗硅片等.
二、典型工藝流程
預處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-中間水箱-粗混合床-精混合床-水箱-水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對象 (≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-化水箱-水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥18MΩ.CM)(新工藝)
預處理-一級反滲透-加藥機(PH調節(jié))-中間水箱-第二級反滲透(正電荷反滲膜)-水箱-水泵-EDI裝置-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥17MΩ.CM) (新工藝)
預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-水箱-水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥15MΩ.CM)(新工藝)
處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-中間水箱-水泵-粗混合床-精混合床-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象(≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
三、達到標準
化水標準,注射水標準 顯像管、液晶顯示器用水水質(經驗數據)
集成電路用水水質
電子級水標準
美國SEMI標準
四、設備特點
為滿足用戶需要,達到符合標準的水質,盡可能地減少各級的污染,延長設備的使用壽命、降低操作人員的維護工作量.在工藝設計上,取達自來水標準的水為源水,再設有介質過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等。 系統(tǒng)中水箱均設有液位控制系統(tǒng)、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人職守,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使設備與其它同類產品相比較,具有更高的性價比和設備性。