產(chǎn)品描述
設(shè)備用途:用于大規(guī)模集成電路、太陽能電池片、電力電子、光電器件、光導(dǎo)纖維等行業(yè)的氧化、擴(kuò)散、燒結(jié)、合金等工藝。
設(shè)備特點(diǎn):單元組合方式。根據(jù)工藝的不同,可以在主機(jī)的基礎(chǔ)上配氣源柜、超凈工作臺、懸臂推拉舟等。
主要技術(shù)指標(biāo):
★ 爐管數(shù): 1~4管
★ 配工藝管口徑:Φ90~360 mm (3~12英寸)
★ 恒溫區(qū)長度: 760~1000 mm±1.0℃ (300~800℃) 760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃)
★ 單點(diǎn)穩(wěn)定性: ±1.0℃/24h (300~800℃) ±0.5℃/24h (800~1280℃)
★ 氣源路數(shù): ≤7路,可配恒溫源瓶、氫氧合成點(diǎn)火器
★ 氣體控制: 浮子/質(zhì)量流量計(jì)
★ 懸臂舟參數(shù): 速度: 20~1000 mm/min 行程:2000 mm 定位精度:±1 mm 載荷:17 Kg
★ 超凈工作臺: 凈化等級:100級(萬級廠房) 噪音: ≤62dB(A) 振動: ≤3μm