PTL-S系列等離子系統(tǒng)主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域:
· 生物技術(shù)· 電子技術(shù)· 精密工程· 研究和開發(fā)· 半導(dǎo)體技術(shù)· 小批量生產(chǎn)
· 塑料技術(shù)· 醫(yī)療技術(shù)· 微系統(tǒng)技術(shù)· 太陽能電池技術(shù) · 紡織技術(shù)
基本設(shè)備
腔室容積:2L、5L、10L、20L可選
供電電源: 220 V
發(fā)生器
頻率:
40 kHz: 功率 0 - 1000 W;
13.56 MHz: 0 - 600 W
所有發(fā)生器均為 0 - 100% 無級可調(diào)型
真空腔室
· 圓形不銹鋼腔體
· 矩形鋁合金腔體
· 圓形石英玻璃腔體
工藝氣源
質(zhì)量流量控制器 或針閥流量計
兩路或三路工藝氣體
內(nèi)置承載件
產(chǎn)品托盤、石英玻璃舟皿、氧化鋁板、石英玻璃隔板
電極
單層或多層
內(nèi)置或外置型
感性或容性耦合電極
控制系統(tǒng)
PLC+人機界面
壓力測量控制
采用PID壓力控制系統(tǒng)
真空泵
按需配置
保護系統(tǒng)
全電路保護